常见的三坐标的结构形式有：活动桥式、固定桥式、悬臂式、立柱式、水平臂式和双水平臂式六种。
蔡司 一、活动桥式 活动桥式，为最常用的三坐标的结构，Z轴为主轴在垂直方向移动，厢形架导引主轴沿水平梁在X方向移动，此水平梁垂直Y轴且被两支柱支撑于两端，梁与支柱形成“桥架”，桥架沿着两个在水平面上相互垂直的X和Y轴的导槽并沿着这个两方向移动。因为梁的两端被支柱支撑，所以可得到最小的挠度，且比悬臂式有较高的精度。 二、固定桥式 固定桥式，Z轴为主轴在垂直方向移动，厢形架导引主轴沿着垂直Z轴的水平横梁上做左右移动。桥架(支柱)被固定在机器本体上，测量台沿着水平平面的导轨作Y轴方向的移动。每轴均由马达来驱动，可确保位置精度，此机型不适合手动操作。 三、悬臂式 悬臂式，Z轴为主轴在垂直方向移动，厢形架导引主轴沿着垂直轴的水平悬臂梁在X轴方向移动，悬臂梁沿着在水平面的导槽在Y轴方向移动。此型为三边开放，容易装拆工件，且工件可以伸出台面即可容纳较大工件，但因悬臂会造成精度不高。此型早期很盛行，现在已不普遍。 四、立柱式 立柱式，Z轴为主轴在垂直方向移动，支柱上附有轴导槽，支柱被固定在测量仪本体上。测量时，测量台在水平面上沿着XY轴方向作移动。 五、水平臂式 水平臂式，此型测量台固定，厢形架支撑水平臂沿着垂直的支柱在垂直(轴)的方向移动，XY轴均沿着各自的导槽移动，适用于大型工件的测量。 六、双水平臂式 此类型结构与水平臂式相同，只是测臂有两个，适用于体积和测量范围比较大的工件。 上面是典型的三坐标的结构形式，德国蔡司根据上述结构形式把自己的三坐标产品分类为：桥式三坐标测量机、生产三坐标测量机、大型三坐标测量机、复合式三坐标测量机、悬臂式三坐标测量机。
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